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直线模组：特点
A. 直线电机直驱
B. 高精度以及精准回零
C. 3种盖板可供选择（包括无尘室盖板）
D. 行程从100 mm 至1200mm
E. ?？榛杓?/p>
直线电机直驱
采用Akribis直线电机对模组进行直接驱动。两种型号电机可供选择: AUM系列（无铁芯电机）ACM系列（有铁芯电机）。AUM系列为客户提供低速更加稳定的模组系统。ACM系列在相同尺寸下为客户提供更大的直驱推力。
高精度以及精准回零
DGL系列标准模组采用高精度的光栅编码器系统，为客户提供高精度的定位平台。
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DGL系列采用标准化的?？樯杓?，可以根据客户需求进行?？榛楹?/p>
| 性能参数 | 单位 | 参考值 |
| 加速度 | G | 10 |
| 速度（分辨率为1μm） | m/s | 5（40μm光栅距和20MHz计数频率） |
| 速度（分辨率为0.5μm） | 2.5（20μm光栅距和20MHz计数频率） | |
| 速度（分辨率为0.1μm） | 1.3（20μm光栅距和20MHz计数频率） | |
| 速度（模拟量编码器） | 8（40μm光栅距和200KHz输入频率） | |
| 4（20μm光栅距和200KHz输入频率） | ||
| *直线度 | μm | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm |
| *平面度 | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm | |
| 重复精度（分辨率为1μm） | ±3μm（40μm光栅栅距） | |
| 重复精度（分辨率为0.5μm） | ±1.5μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（分辨率为0.1μm） | ±1μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（模拟量编码器） | ±5counts |
*所有的测量数值基于模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。
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